Sensor Instruments
Entwicklungs- und Vertriebs GmbH
Schlinding 11
D-94169 Thurmansbang
Telefon +49 8544 9719-0
Telefax +49 8544 9719-13
info@sensorinstruments.de

Перевести эту страницу:

Что значит измерение толщины слоя?


Измерение толщины слоя путем пропускания света
Допустим, что диффузный тонкий слой (в мкм-диапазоне) наносится на оптически прозрачную пленку (напр., толщиной в 100 мкм), при пропускании света можно очень точно определить толщину диффузного слоя.

Строение слоя:

 
Принцип измерения
В качестве источника света используется светодиодная матрица [белый свет (VIS) или инфракрасные лучи (ИК при 860 нм)]. В зависимости от структуры и толщины слоя используется источник рассеянного света (SI-SLU-16-DIF, а также SI-SLU-16-DIF-IR) или источник света с небольшой числовой апертурой (почти параллельно направленный свет) (SI-SLU-16, а также SI-SLU-16-IR).

В качестве детектора служит так называемый True-Color-детектор с небольшой числовой апертурой (маленькое входное отверстие) типа SPECTRO-3-SLU-SA или датчик контраста для видимой части света SPECTRO-1-SLU-SA, а также для ИК-излучения SPECTRO-1-SLU-SA-IR.

Измерения проводятся в режиме проходящего света, т.е. датчик и приемник размещены на противоположных сторонах исследуемого слоя


 

После того, как свет от излучателя попадет на диффузный слой (I0), он диффузно рассеивается в пространстве, одна небольшая его часть направляется в сторону приемника (I(d)).
 

Имеет место следующая зависимость
 
                                     

 
 
 

 
Если толщина слоя изменяется, то получается:

 

 
 

Может настроить сенсорную систему на действительную толщину слоя, если известна толщина двух проб: d1, d2

 можно измерить затем I(d1) и I(d2).

 определить константу ε·c:
 
 
Затем можно определить константу K·I0, используя ε·c и I(d1) (исходят из того, что Iво время измерения не изменяется)..
 

С
можно затем определить абсолютную толщину слоя.
   

Система измерения
Толщина слоя выдается измерительной системой (в зависимости от типа) в виде аналогового значения (напряжение или ток) или через последовательный интерфейс.
 


АКТУАЛЬНО СЕГОДНЯ

Премия 2020 года за инновации от земли Нижняя Австрия:

Мы сердечно поздравляем нашего делового партнера, компанию Gabriel-Chemie GmbH, с получением премии имени Карла Риттера фон Гега

подробнее...



Даты выставок:

all about automation 2021
1 и 2 март 2021 года
Messe Friedrichshafen

подробнее...



Новые применения:

Распознавание цветных меток на древесных плитах
(№720)
Отличие матовых компонентов интерьера салона автомобиля от блестящих
(№721)

 
Отличие голубоватых пластиковых компонентов от желтоватых
(№722)

подробнее...



Новый пресс-релиз:

Измерение тонких масляных пленок с помощью MIR – захватывающая задача.
Серия SPECTRO-M

подробнее...



Новые видео:

ПО "SensorFinder V1.1" в соединении с cab-4/USB и cab-5/USB
ПО "SensorFinder V1.1" в соединении с cab-4/ETH и cab-5/ETH
Обучающее видео Программа L-LAS-Spray-Control-Scope V2.0

подробнее...



Новые версии программ:

SPECTRO1-Scope V3.1
Изменения после обновления программного обеспечения с V3.0 на V3.1

подробнее...



FIND US ON ....

Facebook Youtube in Instagram Twitter

TOP